TERMIUM Plus^®

Fiche 1,  Justifications,  Anglais

Record number: 1, Textual support number: 1 DEF

The sputter deposition process in which species sputtered off the target material are chemically reacting with other species in the gas mixture to form a compound to be deposited; e.g. sputtering of Si in plasma containing oxygen will result in deposition of SiO₂.  3, fiche 1, Anglais, - reactive%20sputtering

Fiche 1,  Justifications,  Français

Record number: 1, Textual support number: 1 DEF

Technique de pulvérisation dans laquelle, afin de modifier les propriétés de la couche déposée, on introduit dans l'enceinte du réacteur un gaz réactif, tel que l'azote ou l'oxygène, qui entre en réaction avec le corps soumis à la pulvérisation.  3, fiche 1, Français, - pulv%C3%A9risation%20cathodique%20r%C3%A9active

Fiche 1,  Justifications,  Espagnol