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X-RAY LITHOGRAPHY [2 fiches]

Fiche 1 2014-02-07

Anglais

Subject field(s)
  • Lithography, Offset Printing and Collotype
  • Printed Circuits and Microelectronics
DEF

An etching process which is being investigated for the production of advanced computer chips.

Français

Domaine(s)
  • Lithographie, offset et phototypie
  • Circuits imprimés et micro-électronique
DEF

Procédé utilisant un faisceau de rayons X agissant sur des résines photosensibles pour dessiner des masques de circuits intégrés.

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Litografía, offset y fototipia
  • Circuitos impresos y microelectrónica
CONT

[...] hay que hablar de la definición de la geometría de los elementos que se van a introducir en el circuito, para lo que se emplea una técnica óptica denominada microlitografía. Actualmente se utiliza para ello la litografía de rayos X y un método de definición de estructuras por haces de electrones.

CONT

Litografía por rayos x: Un haz de rayos X se hace pasar por una máscara para sensibilizar selectivamente la fotorresistencia. Al igual que la fotolitografía convencional, la litografía con rayos X permite grabar varios patrones de forma simultánea. Además, puesto que la longitud de onda es mucho más pequeña, se consigue también de esta forma una mejor resolución, y por lo tanto unos dispositivos de menor tamaño.

Conserver la fiche 1

Fiche 2 - données d’organisme externe 2004-10-26

Anglais

Subject field(s)
  • Radiological Physics (Theory and Application)
  • Compartment - Canadian Nuclear Safety Commission
CONT

It is also used in technologies such as x-ray lithography, micro-machines, material characterization and trace element analysis.

Français

Domaine(s)
  • Physique radiologique et applications
  • Tiroir - Commission canadienne de sûreté nucléaire
CONT

Le synchrotron émet une forme intense de lumière qui est utilisée [...] dans des technologies comme la lithographie aux rayons X, les micromachines, la caractérisation des matériaux et l'analyse des oligo-éléments.

Espagnol

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