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CHEMICAL SPUTTERING [1 fiche]

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Fiche 1 1993-03-22

Anglais

Subject field(s)
  • Printed Circuits and Microelectronics
  • Industrial Techniques and Processes
DEF

In IC fabrications, an etching process using a cloud of ionized gas.

CONT

Plasma etching of metal, glass or plastic surfaces (surface engineering). Plasma-etched plastic car-bumpers.

OBS

Contrast to wet or solvent-etching. See hot or cold plasma, and plasma processing.

Français

Domaine(s)
  • Circuits imprimés et micro-électronique
  • Techniques industrielles
DEF

Dans la fabrication des circuits intégrés, procédé utilisant un gaz ionisé pour obtenir le dessin voulu dans une mince couche métallique déposée sur le substrat.

Espagnol

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