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DEPOT POLYCRISTALLIN [1 fiche]

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Fiche 1 2019-11-19

Anglais

Subject field(s)
  • Electrochemistry
CONT

[Periodic supply epitaxy] has been applied in a reduced schedule to reduce but not eliminate the formation of a polycrystalline deposit on the dielectric mask but still maintain acceptable reactor processing time.

Terme(s)-clé(s)
  • poly-crystalline deposit

Français

Domaine(s)
  • Électrochimie
CONT

[...] il faut éliminer toute trace d'oxygène (et donc d'eau) car cet élément détériore l'épitaxie et entraîne plutôt un dépôt polycristallin.

Espagnol

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