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low-pressure plasma [1 fiche]

Fiche 1 2016-03-07

Anglais

Subject field(s)
  • Industrial Techniques and Processes
  • Plasma Physics
CONT

... low pressure plasma is used in the most diverse ranges, where a better adhesion between materials or a change in surface property is desired. With the low pressure plasma technology gas in the vacuum becomes excited by energy input. High energy ions and electrons are developed along with other reactive particles, which form the plasma, and surfaces can be changed effectively.

Français

Domaine(s)
  • Techniques industrielles
  • Physique des plasmas
CONT

Le plasma sous basse pression constitue un outil particulièrement polyvalent pour modifier les surfaces. Nettoyage final de composants contaminés, activation de surface de pièces plastique, attaque du PTFE[polytétrafluoréthylène], gravure du silicium et revêtement de pièces plastique par des films proches du PTFE, figurent parmi les applications possibles. À cet égard, le plasma sous basse pression est utilisé dans de nombreux domaines où il est important de coller les matériaux ensemble ou pour modifier les propriétés de surface [...] Dans la technologie de plasma sous basse pression, le gaz est excité sous vide par apport d'énergie. Il en résulte la formation d’espèces énergétiques ions, électrons, ainsi que d'autres particules réactives, lesquelles constituent le plasma. Les surfaces peuvent ainsi être modifiées efficacement.

Espagnol

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