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DEEP REACTIVE ION ETCHING [1 fiche]
Fiche 1 - données d’organisme interne 2025-12-05
Fiche 1, Anglais
Fiche 1, Subject field(s)
- Electronic Circuits Technology
- Printed Circuits and Microelectronics
- IT Security
Fiche 1, La vedette principale, Anglais
- deep reactive ion etching
1, fiche 1, Anglais, deep%20reactive%20ion%20etching
correct, nom
Fiche 1, Les abréviations, Anglais
- DRIE 1, fiche 1, Anglais, DRIE
correct, nom
Fiche 1, Les synonymes, Anglais
- deep reactive-ion etching 2, fiche 1, Anglais, deep%20reactive%2Dion%20etching
correct, nom
- DRIE 2, fiche 1, Anglais, DRIE
correct, nom
- DRIE 2, fiche 1, Anglais, DRIE
Fiche 1, Justifications, Anglais
Record number: 1, Textual support number: 1 CONT
Deep reactive-ion etching (DRIE) is a highly anisotropic etch process used to create deep penetration, steep-sided holes and trenches in wafers/substrates, typically with high aspect ratios. 2, fiche 1, Anglais, - deep%20reactive%20ion%20etching
Fiche 1, Français
Fiche 1, Domaine(s)
- Technologie des circuits électroniques
- Circuits imprimés et micro-électronique
- Sécurité des TI
Fiche 1, La vedette principale, Français
- gravure ionique réactive profonde
1, fiche 1, Français, gravure%20ionique%20r%C3%A9active%20profonde
correct, nom féminin
Fiche 1, Les abréviations, Français
- DRIE 1, fiche 1, Français, DRIE
correct, nom féminin
Fiche 1, Les synonymes, Français
Fiche 1, Justifications, Français
Record number: 1, Textual support number: 1 CONT
Gravure ionique réactive profonde (DRIE). Dans les cas où la profondeur de gravure est très grande, la RIE [gravure ionique réactive] n'est plus une option valable de gravure à cause de la faible sélectivité avec le masque. Les procédés de DRIE offrent des sélectivités plus importantes et permettent donc d'atteindre des profondeurs de gravure de 500 µm [micromètres] ou plus [...] 1, fiche 1, Français, - gravure%20ionique%20r%C3%A9active%20profonde
Fiche 1, Espagnol
Fiche 1, Campo(s) temático(s)
- Tecnología de los circuitos electrónicos
- Circuitos impresos y microelectrónica
- Seguridad de IT
Fiche 1, La vedette principale, Espagnol
- grabado iónico reactivo profundo
1, fiche 1, Espagnol, grabado%20i%C3%B3nico%20reactivo%20profundo
correct, nom masculin
Fiche 1, Les abréviations, Espagnol
- DRIE 1, fiche 1, Espagnol, DRIE
correct, nom masculin
Fiche 1, Les synonymes, Espagnol
Fiche 1, Justifications, Espagnol
Record number: 1, Textual support number: 1 CONT
La masa [...] inercial se crea mediante grabado de la capa de silicio tanto superior como inferior de la oblea de SOI (silicio sobre aislante) mediante RIE (grabado iónico reactivo) y DRIE (grabado iónico reactivo profundo), respectivamente. 2, fiche 1, Espagnol, - grabado%20i%C3%B3nico%20reactivo%20profundo
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