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LPCVD [1 fiche]

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Fiche 1 2008-08-28

Anglais

Subject field(s)
  • Electrical Engineering
CONT

CVD [chemical vapor deposition] processes have numerous other names, such as ... low-pressure CVD when the pressure is less than ambient ...

Terme(s)-clé(s)
  • low pressure chemical vapour deposition

Français

Domaine(s)
  • Électrotechnique
DEF

Technique de dépôt de couches minces sur un substrat, dans laquelle les réactions chimiques ont lieu dans une enceinte à faible pression reliée à une pompe à vide.

Espagnol

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