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VAPOR-PHASE EPITAXY [1 fiche]

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Fiche 1 2024-01-27

Anglais

Subject field(s)
  • Industrial Techniques and Processes
  • Semiconductors (Electronics)
  • Lasers and Masers
DEF

The use of chemical vapor deposition to grow epitaxial layers.

Terme(s)-clé(s)
  • vapour-phase epitaxy

Français

Domaine(s)
  • Techniques industrielles
  • Semi-conducteurs (Électronique)
  • Masers et lasers
DEF

Épitaxie utilisée pour la fabrication de semi-conducteurs réalisée par la déposition sur le substrat de couches successives de matériaux dopés se faisant par l'action de flux de vapeurs de compositions voulues.

CONT

L'épitaxie en phase vapeur met en œuvre des réactions de décomposition thermique qui donnent des couches minces, très pures et de bonne planéité.

Espagnol

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