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PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION [2 fiches]

Fiche 1 2023-05-16

Anglais

Subject field(s)
  • Mathematics, Physics and Natural Sciences
  • Electronics and Informatics
  • Medicine and Health
  • Industries
CONT

Carbon nanosheets(CNS) are a promising two-dimensional carbon allotrope for high current field emission cathodes and are grown by radio frequency(RF) plasma-enhanced chemical vapor deposition from a C²H²/H² gas blend at substrate temperatures of ~ 600 °C. The resulting film consists of vertically oriented, honeycomb sp² carbon arrays terminating in single graphene sheets that serve as field emission cathodes. Conditioned films have previously been shown to provide high emission current density(~ 2 mA/mm²), and stable lifetime(less than 5% variation over >200 h).

Terme(s)-clé(s)
  • carbon nano-plate
  • carbon nano-sheet

Français

Domaine(s)
  • Mathématiques, physique et sciences naturelles
  • Électronique et informatique
  • Médecine et santé
  • Industries
CONT

Les scientifiques travaillant sur le projet HARCANA («High aspect ratio carbon-based nanocomposites») financé par l'UE (Union Européenne) ont examiné l'une des classes de nanomatériaux les plus étudiées, les nanoparticules de carbone (NPC). Les NPC comprennent les nanotubes de carbone (NTC), les nano-fibres de carbone (NFC) et les nano-feuillets de carbone («carbon nanosheets» - CNS) ou graphite exfolié. L'introduction des NPC dans les polymères en tant que remplisseurs (nanoremplisseurs) pour produire des nanocomposites constitue un domaine de recherche actif. L'une des principales difficultés techniques dans ce domaine concerne l'agglomération ou l'encastrement. Comme mentionné précédemment, cela peut modifier considérablement les propriétés.

OBS

nano-feuillet de carbone : Selon le Trésor de la langue française, les mots construits avec le préfixe «nano-» sont généralement soudés.

Terme(s)-clé(s)
  • nano-feuillet carboné
  • nanofeuillet de carbone
  • nanofeuille carbonée
  • nano-feuille carbonée
  • nanofeuille de carbone
  • nano-feuille de carbone

Espagnol

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Fiche 2 2008-11-25

Anglais

Subject field(s)
  • Electrical Engineering
OBS

Chemical vapor deposition (CVD) deposits atoms or molecules by reducing the decomposition of a chemical-vapor precursor species that contains the material to be deposited. The reduction is normally accomplished using hydrogen at an elevated temperature. Decomposition is accomplished by thermal activation. The use of a plasma allows the reduction or decomposition to be done at a lower temperature than using temperature alone.

Terme(s)-clé(s)
  • plasma-enhanced chemical vapour deposition

Français

Domaine(s)
  • Électrotechnique
DEF

Technique de dépôt chimique de couches minces en présence d'un gaz partiellement ionisé, appelé plasma.

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Electrotecnia
CONT

La deposición de películas delgadas de materiales dieléctricos para separar eléctricamente partes de los dispositivos electrónicos a realizar es inevitable en la mayor parte de los casos. Una de las técnicas mejor establecidas para ello es la deposición en fase vapor asistida por plasma [...], que permite obtener dieléctricos con baja porosidad y uniformes en tallas laterales de sustrato grandes, conformes con la topología del sustrato, y con velocidades de depósito altas.

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