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DRYETCHED ANISOTROPICALLY [1 fiche]

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Fiche 1 1996-03-21

Anglais

Subject field(s)
  • Advanced Technology Weapons
  • Electronic Circuits Technology
  • Photoelectricity and Electron Optics
CONT

Channels are dryetched anisotropically through a substrate wafer, and the continuous dynodes are created along the channel surfaces by means of thin-film deposition or growth.

Français

Domaine(s)
  • Armes de haute technicité
  • Technologie des circuits électroniques
  • Photo-électricité et optique électronique
CONT

Les canaux sont gravés à sec de facon non isotrope au travers d'une plaquette-substrat.

Espagnol

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