TERMIUM Plus®
La banque de données terminologiques et linguistiques du gouvernement du Canada.
REACTIVE SPUTTERING [2 fiches]
Fiche 1 - données d’organisme interne 2017-12-28
Fiche 1, Anglais
Fiche 1, Subject field(s)
- Metal-Coating
Fiche 1, La vedette principale, Anglais
- reactive sputtering 1, fiche 1, Anglais, reactive%20sputtering
Fiche 1, Les abréviations, Anglais
Fiche 1, Les synonymes, Anglais
Fiche 1, Justifications, Anglais
Record number: 1, Textual support number: 1 OBS
Sputtering: Also known as cathode sputtering. 1. The ejection of atoms or groups of atoms from the surface of the cathode of a vacuum tube as the result of heavy-iron impact. 2. The use of this process to deposit a thin layer of metal on a glass, plastic, metal, or other surface in vacuum. 2, fiche 1, Anglais, - reactive%20sputtering
Fiche 1, Français
Fiche 1, Domaine(s)
- Métallisation
Fiche 1, La vedette principale, Français
- pulvérisation réactive
1, fiche 1, Français, pulv%C3%A9risation%20r%C3%A9active
correct, nom féminin
Fiche 1, Les abréviations, Français
Fiche 1, Les synonymes, Français
Fiche 1, Justifications, Français
Record number: 1, Textual support number: 1 CONT
Pulvérisation cathodique [...] Matériaux déposés. Tous les matériaux, conducteurs ou isolants, peuvent être déposés soit par pulvérisation directe du matériau massif, soit par pulvérisation réactive. Les deux méthodes sont souvent utilisées simultanément lorsqu'on pulvérise des corps composés (oxyde, nitrures, sulfures, etc.). C'est l'un des principaux avantages de ce procédé de permettre l'obtention de couches stœchiométriques et reproductibles : la pulvérisation du matériau massif assure la reproductibilité de la composition mais elle n'assure pas l'exactitude de la stœchiométrie [...]; la pulvérisation réactive assure la stœchiométrie. 1, fiche 1, Français, - pulv%C3%A9risation%20r%C3%A9active
Fiche 1, Espagnol
Fiche 1, Justifications, Espagnol
Fiche 2 - données d’organisme interne 2007-07-03
Fiche 2, Anglais
Fiche 2, Subject field(s)
- Semiconductors (Electronics)
- Electronic Systems
Fiche 2, La vedette principale, Anglais
- reactive sputtering
1, fiche 2, Anglais, reactive%20sputtering
correct
Fiche 2, Les abréviations, Anglais
Fiche 2, Les synonymes, Anglais
- reactive cathode sputtering 2, fiche 2, Anglais, reactive%20cathode%20sputtering
correct
Fiche 2, Justifications, Anglais
Record number: 2, Textual support number: 1 DEF
The sputter deposition process in which species sputtered off the target material are chemically reacting with other species in the gas mixture to form a compound to be deposited; e.g. sputtering of Si in plasma containing oxygen will result in deposition of SiO2. 3, fiche 2, Anglais, - reactive%20sputtering
Fiche 2, Français
Fiche 2, Domaine(s)
- Semi-conducteurs (Électronique)
- Ensembles électroniques
Fiche 2, La vedette principale, Français
- pulvérisation cathodique réactive
1, fiche 2, Français, pulv%C3%A9risation%20cathodique%20r%C3%A9active
correct, nom féminin
Fiche 2, Les abréviations, Français
Fiche 2, Les synonymes, Français
- pulvérisation réactive 2, fiche 2, Français, pulv%C3%A9risation%20r%C3%A9active
correct, nom féminin
Fiche 2, Justifications, Français
Record number: 2, Textual support number: 1 DEF
Technique de pulvérisation dans laquelle, afin de modifier les propriétés de la couche déposée, on introduit dans l'enceinte du réacteur un gaz réactif, tel que l'azote ou l'oxygène, qui entre en réaction avec le corps soumis à la pulvérisation. 3, fiche 2, Français, - pulv%C3%A9risation%20cathodique%20r%C3%A9active
Fiche 2, Espagnol
Fiche 2, Justifications, Espagnol
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