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ROTARY FEEDTHROUGH [1 fiche]

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Fiche 1 2002-11-05

Anglais

Subject field(s)
  • Stators and Rotors (Electrical Components)
CONT

The Manipulator Control Unit MCU is a power source and control unit for the motor which rotates the substrate or substrate holder of a manipulator. ... The MCU is delivered with an electrical driven motor and with a motor holder mounted on a rotary feedthrough on a flange DN16CF (O.D. 1,33 inch).

Français

Domaine(s)
  • Stators et rotors (Composants électrotechniques)

Espagnol

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