TERMIUM Plus®
La banque de données terminologiques et linguistiques du gouvernement du Canada.
X-RAY NANOLITHOGRAPHY [1 fiche]
Fiche 1 - données d’organisme interne 2014-02-07
Fiche 1, Anglais
Fiche 1, Subject field(s)
- Optics
- Lithography, Offset Printing and Collotype
Fiche 1, La vedette principale, Anglais
- X-ray nanolithography
1, fiche 1, Anglais, X%2Dray%20nanolithography
correct
Fiche 1, Les abréviations, Anglais
Fiche 1, Les synonymes, Anglais
Fiche 1, Justifications, Anglais
Record number: 1, Textual support number: 1 OBS
For several years we have been developing the tools and methods of x-ray nanolithography (i.e., sub-100 nm features). We have explored the theoretical and practical limitations, and endeavored to make its various components (for example, mask making, resists, electroplating, sources, alignment, etc.) reliable and "user friendly." 2, fiche 1, Anglais, - X%2Dray%20nanolithography
Fiche 1, Français
Fiche 1, Domaine(s)
- Optique
- Lithographie, offset et phototypie
Fiche 1, La vedette principale, Français
- nanolithographie par rayons X
1, fiche 1, Français, nanolithographie%20par%20rayons%20X
correct, nom féminin
Fiche 1, Les abréviations, Français
Fiche 1, Les synonymes, Français
Fiche 1, Justifications, Français
Record number: 1, Textual support number: 1 OBS
Il y a dans toute lithographie, depuis le Batik de Bali à la nanolithographie par rayons X, trois étapes: le dépôt de la couche sensible, le transfert du motif, et la fixation (révélation) de ce motif. 1, fiche 1, Français, - nanolithographie%20par%20rayons%20X
Fiche 1, Espagnol
Fiche 1, Campo(s) temático(s)
- Óptica
- Litografía, offset y fototipia
Fiche 1, La vedette principale, Espagnol
- nanolitografía de rayos X
1, fiche 1, Espagnol, nanolitograf%C3%ADa%20de%20rayos%20X
correct, nom féminin
Fiche 1, Les abréviations, Espagnol
Fiche 1, Les synonymes, Espagnol
Fiche 1, Justifications, Espagnol
Record number: 1, Textual support number: 1 CONT
La utilización de rayos X para nanolitografía se ha restringido por el momento a aplicaciones de investigación, ya que la industria microelectrónica se ha basado en los últimos años en la utilización de técnicas ópticas especiales que han permitido obtener estructuras mucho menores que la longitud de onda utilizada. Para la industria de semiconductores, la utilización de un sincrotrón externo en lugar de un equipo "in situ" en la fábrica es un grave inconveniente. Uno de los sincrotrones que ha mantenido un programa importante de investigación en nanolitografía de rayos X es Aladdin, en la Universidad de Winsconsin. 1, fiche 1, Espagnol, - nanolitograf%C3%ADa%20de%20rayos%20X
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