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WAFER STEPPER [2 fiches]
Fiche 1 - données d’organisme interne 2006-04-03
Fiche 1, Anglais
Fiche 1, Subject field(s)
- Electronics
- Physics
- Industrial Techniques and Processes
Fiche 1, La vedette principale, Anglais
- deep ultraviolet wafer stepper
1, fiche 1, Anglais, deep%20ultraviolet%20wafer%20stepper
correct
Fiche 1, Les abréviations, Anglais
Fiche 1, Les synonymes, Anglais
- deep UV wafer stepper 2, fiche 1, Anglais, deep%20UV%20wafer%20stepper
correct
Fiche 1, Justifications, Anglais
Fiche 1, Français
Fiche 1, Domaine(s)
- Électronique
- Physique
- Techniques industrielles
Fiche 1, La vedette principale, Français
- dispositif pas à pas de gravure par ultraviolet lointain
1, fiche 1, Français, dispositif%20pas%20%C3%A0%20pas%20de%20gravure%20par%20ultraviolet%20lointain
correct, nom masculin
Fiche 1, Les abréviations, Français
Fiche 1, Les synonymes, Français
Fiche 1, Justifications, Français
Record number: 1, Textual support number: 1 OBS
ultraviolet : Cette graphie, puisée des Rectifications de l'orthographe recommandées par le Conseil supérieur de la langue française, est attestée dans le Petit Robert (2006). 2, fiche 1, Français, - dispositif%20pas%20%C3%A0%20pas%20de%20gravure%20par%20ultraviolet%20lointain
Fiche 1, Espagnol
Fiche 1, Justifications, Espagnol
Fiche 2 - données d’organisme interne 2000-08-18
Fiche 2, Anglais
Fiche 2, Subject field(s)
- Printed Circuits and Microelectronics
- Industrial Techniques and Processes
Fiche 2, La vedette principale, Anglais
- wafer stepper
1, fiche 2, Anglais, wafer%20stepper
correct
Fiche 2, Les abréviations, Anglais
Fiche 2, Les synonymes, Anglais
- projection step-and-repeat mask aligner 1, fiche 2, Anglais, projection%20step%2Dand%2Drepeat%20mask%20aligner
correct
Fiche 2, Justifications, Anglais
Record number: 2, Textual support number: 1 CONT
Wafer steppers (or projection step-and-repeat mask aligners) are one of the three types of mask aligners currently being used for the fabrication of integrated circuits. The other two types are contact/proximity and projection scanners .... Wafer steppers operate in one of two modes. The "first-generation" steppers use fixed steps, with no references to local targets in mid-wafer. Later-design steppers have the capability to re-reference periodically, typically at each field exposure step. The most sophisticated steppers can make adjustments to X, Y, [THETA] (rotation), Z (focus), and two-dimensional tilt to attain the ultimate in overlay accuracy and resolution. 1, fiche 2, Anglais, - wafer%20stepper
Fiche 2, Français
Fiche 2, Domaine(s)
- Circuits imprimés et micro-électronique
- Techniques industrielles
Fiche 2, La vedette principale, Français
- aligneuse de masque à répétition de projection
1, fiche 2, Français, aligneuse%20de%20masque%20%C3%A0%20r%C3%A9p%C3%A9tition%20de%20projection
proposition, nom féminin
Fiche 2, Les abréviations, Français
Fiche 2, Les synonymes, Français
Fiche 2, Justifications, Français
Fiche 2, Espagnol
Fiche 2, Justifications, Espagnol
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