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LITOGRAFIA RAYOS X [1 fiche]

Fiche 1 2014-02-07

Anglais

Subject field(s)
  • Lithography, Offset Printing and Collotype
  • Printed Circuits and Microelectronics
DEF

An etching process which is being investigated for the production of advanced computer chips.

Français

Domaine(s)
  • Lithographie, offset et phototypie
  • Circuits imprimés et micro-électronique
DEF

Procédé utilisant un faisceau de rayons X agissant sur des résines photosensibles pour dessiner des masques de circuits intégrés.

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Litografía, offset y fototipia
  • Circuitos impresos y microelectrónica
CONT

[...] hay que hablar de la definición de la geometría de los elementos que se van a introducir en el circuito, para lo que se emplea una técnica óptica denominada microlitografía. Actualmente se utiliza para ello la litografía de rayos X y un método de definición de estructuras por haces de electrones.

CONT

Litografía por rayos x: Un haz de rayos X se hace pasar por una máscara para sensibilizar selectivamente la fotorresistencia. Al igual que la fotolitografía convencional, la litografía con rayos X permite grabar varios patrones de forma simultánea. Además, puesto que la longitud de onda es mucho más pequeña, se consigue también de esta forma una mejor resolución, y por lo tanto unos dispositivos de menor tamaño.

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