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NANOLITOGRAFIA [5 fiches]

Fiche 1 2014-06-10

Anglais

Subject field(s)
  • Atomic Physics

Français

Domaine(s)
  • Physique atomique
OBS

Les progrès réalisés en nanolithographie par faisceau d'électrons permettent également la fabrication d'objets dont les dimensions sont inférieures à 10 nm. Il s'agit, par exemple, de lignes ultraminces métalliques de 8 nm de large. Un substrat isolant est généralement nécessaire pour fabriquer et pour stabiliser ces lignes.

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Física atómica
CONT

[...] analizaremos algunos resultados recientes sobre la influencia en la respuesta eléctrica de materiales cristalinos frente a la reducción de la dimensión explorada (unas pocas micras con ayuda de la nanolitografía por haz de electrones) usando como pilar fundamental para la respuesta eléctrica la espectroscopia dieléctrica.

CONT

La nanolitografía mediante haz de electrones presenta la ventaja de ser un proceso altamente controlable, permitiendo la fabricación, por ejemplo, de defectos intencionados (ausencia de uno o varios nanoagujeros). Estos defectos actúan a semejanza de los niveles de dopante en las bandas electrónicas de los semiconductores, proporcionando un nivel de energía accesible para los fotones en el interior del gap fotónico.

Conserver la fiche 1

Fiche 2 2014-04-30

Anglais

Subject field(s)
  • Atomic Physics

Français

Domaine(s)
  • Physique atomique
CONT

Une nanolithographie en surface suivie d'une attaque chimique permet de dégager dans la masse de ces matériaux en couche des boîtes quantiques de même structure stratifiée que le matériau de départ. La seule différence réside ici dans les dimensions de ces boîtes, inférieures à 100 nm. L'intérêt de cet usinage est de dégager l'accès latéral de cette structure stratifiée, afin de pouvoir éventuellement y placer une troisième électrode, et ainsi réaliser une triode de 100 nm de largeur.

OBS

Une nanolithographie en surface permet le dessin de nanostructures telles que des fils quantiques, des boîtes quantiques structurées et des interféromètres électroniques.

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Física atómica
Conserver la fiche 2

Fiche 3 2014-02-07

Anglais

Subject field(s)
  • Optics
  • Lithography, Offset Printing and Collotype
OBS

For several years we have been developing the tools and methods of x-ray nanolithography (i.e., sub-100 nm features). We have explored the theoretical and practical limitations, and endeavored to make its various components (for example, mask making, resists, electroplating, sources, alignment, etc.) reliable and "user friendly."

Français

Domaine(s)
  • Optique
  • Lithographie, offset et phototypie
OBS

Il y a dans toute lithographie, depuis le Batik de Bali à la nanolithographie par rayons X, trois étapes: le dépôt de la couche sensible, le transfert du motif, et la fixation (révélation) de ce motif.

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Óptica
  • Litografía, offset y fototipia
CONT

La utilización de rayos X para nanolitografía se ha restringido por el momento a aplicaciones de investigación, ya que la industria microelectrónica se ha basado en los últimos años en la utilización de técnicas ópticas especiales que han permitido obtener estructuras mucho menores que la longitud de onda utilizada. Para la industria de semiconductores, la utilización de un sincrotrón externo en lugar de un equipo "in situ" en la fábrica es un grave inconveniente. Uno de los sincrotrones que ha mantenido un programa importante de investigación en nanolitografía de rayos X es Aladdin, en la Universidad de Winsconsin.

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Fiche 4 2012-07-09

Anglais

Subject field(s)
  • Printed Circuits and Microelectronics
  • Atomic Physics
CONT

Nanolithography with the STM [scanning tunnelling microscope]. ... research on metallic structures with feature sizes smaller than about 100 nm is just beginning. The goal of our group is the production of metallic circuit lines smaller than 100 nm and the investigation of transport and magnetic properties.

CONT

Nanolithography is the art and science of etching, writing, or printing at the microscopic level, where the dimensions of characters are on the order of nanometres. This includes various methods of modifying semiconductor chips at the atomic level for the purpose of fabricating integrated circuits (ICs). Instruments used in nanolithography include the scanning tunnelling microscope (STM) and the atomic force microscope (AFM). Both allow surface viewing in fine detail without necessarily modifying it. Either the STM or the AFM can be used to etch, write, or print on a surface in single-atom dimensions.

Terme(s)-clé(s)
  • nano-scale lithography
  • nano scale lithography
  • nano lithography
  • nano-lithography

Français

Domaine(s)
  • Circuits imprimés et micro-électronique
  • Physique atomique
DEF

Technique de gravure des circuits intégrés ayant des dimensions très inférieures au micromètre.

OBS

La nanolithographie permet de fabriquer des circuits électroniques extrêmement denses et d'augmenter ainsi la vitesse de calcul des microprocesseurs et la capacité des mémoires. Alors que les procédés de microlithographie utilisent la lumière visible ou ultraviolette pour projeter l'image du circuit sur le substrat à graver (silicium), la nanolithographie fait appel à un rayonnement de longueur d'onde plus courte (rayons X) ou à un faisceau d'électrons.

PHR

Nanolithographie stylo à plume.

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Circuitos impresos y microelectrónica
  • Física atómica
CONT

El desafío desde la ciencia de los materiales implica el mejoramiento de técnicas tales como la nanolitografía, que permite grabar circuitos de pequeña escala sobre sustratos semiconductores [...]

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Fiche 5 2011-12-21

Anglais

Subject field(s)
  • Lithography, Offset Printing and Collotype
  • Atomic Physics
CONT

Dip Pen Nanolithography (DPN) is a scanning probe lithography technique where an atomic force microscope tip is used to transfer molecules to a surface via a solvent meniscus. This technique allows surface patterning on scales of under 100 nanometres.

OBS

Meniscus, plural: menisci, from the Greek for "crescent," is a curve in the surface of a molecular substance and is produced in response to the surface of the container or another object. It can be either concave or convex. A convex meniscus occurs when the molecules have a stronger attraction to each other than to the container.

Terme(s)-clé(s)
  • dip pen nano-lithography
  • dip pen nano lithography

Français

Domaine(s)
  • Lithographie, offset et phototypie
  • Physique atomique
DEF

Technique permettant de reproduire un motif de taille nanométrique en déposant sur un substrat, à l'aide de la pointe d'un microscope à force atomique, une solution de molécules organiques qui s'auto-assemblent pour former un trait.

Terme(s)-clé(s)
  • nano-lithographie stylo à plume
  • nano lithographie stylo à plume

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Litografía, offset y fototipia
  • Física atómica
CONT

El sistema de nanolitografía por dip-pen se compone de un microscopio de fuerza atómica (Atomic Force Microscope, AFM), una cabina de control ambiental (temperatura y humedad relativa) y el software de control adecuado para realizar nanolitografía. El proceso de dip-pen permite depositar compuestos como biomoléculas, resinas, polímeros y otros materiales con resolución nanométrica y sin necesidad de máscaras […]

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