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NANOLITOGRAFIA MEDIANTE HAZ ELECTRONES [1 fiche]

Fiche 1 2014-06-10

Anglais

Subject field(s)
  • Atomic Physics

Français

Domaine(s)
  • Physique atomique
OBS

Les progrès réalisés en nanolithographie par faisceau d'électrons permettent également la fabrication d'objets dont les dimensions sont inférieures à 10 nm. Il s'agit, par exemple, de lignes ultraminces métalliques de 8 nm de large. Un substrat isolant est généralement nécessaire pour fabriquer et pour stabiliser ces lignes.

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Física atómica
CONT

[...] analizaremos algunos resultados recientes sobre la influencia en la respuesta eléctrica de materiales cristalinos frente a la reducción de la dimensión explorada (unas pocas micras con ayuda de la nanolitografía por haz de electrones) usando como pilar fundamental para la respuesta eléctrica la espectroscopia dieléctrica.

CONT

La nanolitografía mediante haz de electrones presenta la ventaja de ser un proceso altamente controlable, permitiendo la fabricación, por ejemplo, de defectos intencionados (ausencia de uno o varios nanoagujeros). Estos defectos actúan a semejanza de los niveles de dopante en las bandas electrónicas de los semiconductores, proporcionando un nivel de energía accesible para los fotones en el interior del gap fotónico.

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