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GRAVURE FAISCEAU IONS REACTIFS [1 fiche]
Fiche 1 - données d’organisme interne 2026-03-06
Fiche 1, Anglais
Fiche 1, Subject field(s)
- Electronic Circuits Technology
- Printed Circuits and Microelectronics
- Photoelectricity and Electron Optics
- IT Security
Fiche 1, La vedette principale, Anglais
- reactive ion beam etching
1, fiche 1, Anglais, reactive%20ion%20beam%20etching
correct, nom
Fiche 1, Les abréviations, Anglais
- RIBE 1, fiche 1, Anglais, RIBE
correct, nom
Fiche 1, Les synonymes, Anglais
Fiche 1, Justifications, Anglais
Record number: 1, Textual support number: 1 CONT
RIBE involves the use of an ion beam in the presence of reactive gases. Unlike RIE [reactive ion etching], where plasma is generated within the reaction chamber, RIBE directs a focused ion beam onto the substrate, allowing for highly directional etching. 2, fiche 1, Anglais, - reactive%20ion%20beam%20etching
Fiche 1, Français
Fiche 1, Domaine(s)
- Technologie des circuits électroniques
- Circuits imprimés et micro-électronique
- Photo-électricité et optique électronique
- Sécurité des TI
Fiche 1, La vedette principale, Français
- gravure par faisceau d'ions réactifs
1, fiche 1, Français, gravure%20par%20faisceau%20d%27ions%20r%C3%A9actifs
correct, nom féminin
Fiche 1, Les abréviations, Français
- RIBE 1, fiche 1, Français, RIBE
correct, nom féminin
Fiche 1, Les synonymes, Français
Fiche 1, Justifications, Français
Record number: 1, Textual support number: 1 CONT
La gravure par faisceau d’ions assistés chimiquement(CAIBE) et la gravure par faisceau d’ions réactifs(RIBE) ont également été utilisées pour graver des matériaux. [...] En CAIBE, les gaz réactifs sont ajoutés dans le plasma sous la grille d’accélération : la composante chimique de la gravure est privilégiée. En RIBE, les gaz réactifs sont introduits dans la source. 1, fiche 1, Français, - gravure%20par%20faisceau%20d%27ions%20r%C3%A9actifs
Fiche 1, Espagnol
Fiche 1, Campo(s) temático(s)
- Tecnología de los circuitos electrónicos
- Circuitos impresos y microelectrónica
- Fotoelectricidad y óptica electrónica
- Seguridad de IT
Fiche 1, La vedette principale, Espagnol
- grabado por haz de iones reactivos
1, fiche 1, Espagnol, grabado%20por%20haz%20de%20iones%20reactivos
correct, nom masculin
Fiche 1, Les abréviations, Espagnol
- RIBE 1, fiche 1, Espagnol, RIBE
correct, nom masculin
Fiche 1, Les synonymes, Espagnol
Fiche 1, Justifications, Espagnol
Record number: 1, Textual support number: 1 CONT
Grabado por haz de iones reactivos (RIBE): en esta técnica los iones de un plasma son acelerados proporcionando un haz de iones que incide perpendicularmente sobre la muestra arrancando el material superficial de manera muy direccional. La muestra está separada del plasma por una rejilla que sirve para extraer un haz dirigido de iones hacia la muestra. 1, fiche 1, Espagnol, - grabado%20por%20haz%20de%20iones%20reactivos
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