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ELLIPSOMETRE [1 fiche]

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Fiche 1 2004-02-04

Anglais

Subject field(s)
  • Optics
  • Printed Circuits and Microelectronics
DEF

An instrument used to perform ellipsometry, a branch of optics concerned with the analysis, measurement, and application of elliptically polarized light.

CONT

Ellipsometers are used by the semiconductor industry to measure thickness and monitor the quality composition of thin dielectric films deposited on semiconductor surfaces. They are also used for analysis of surface roughness and surface layer defects.

Français

Domaine(s)
  • Optique
  • Circuits imprimés et micro-électronique
DEF

Appareil d'optique permettant de mesurer l'état de polarisation d'un faisceau lumineux.

OBS

Couramment utilisé pour déterminer l'épaisseur des couches déposées sur un substrat.

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Óptica
  • Circuitos impresos y microelectrónica
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