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POLYSILICIURE [1 fiche]

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Fiche 1 2009-01-15

Anglais

Subject field(s)
  • Printed Circuits and Microelectronics
OBS

IC technology

Français

Domaine(s)
  • Circuits imprimés et micro-électronique

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Circuitos impresos y microelectrónica
CONT

Formas de interconectar (dos niveles): Un nivel de polisilicio + un nivel de metal; un nivel de polisiliciuro (polisilicio+metal) + un nivel de metal; Dos niveles de metal. Resistividades: Polisilicio es aproximadamente 3 veces la del metal. Polisilicio es aproximadamente 10 veces la del polisiliciuro.

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