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POMPE IONIQUE DIODE [1 fiche]

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Fiche 1 2014-11-10

Anglais

Subject field(s)
  • Vacuum Machines
OBS

Some constructional arrangements for diode sputter-ion pumps: (a) Small pump in flat rectangular body; electrodes are non-renewable. (b) Larger rectangular pump with wide mouth permitting removal and renewal of electrodes.

Français

Domaine(s)
  • Machines à vide
CONT

Performances des pompes ioniques diodes. La vitesse de pompage varie avec la pression d'utilisation.

Espagnol

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