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Fiche 1 1986-03-27

Anglais

Subject field(s)
  • Semiconductors (Electronics)
  • Industrial Techniques and Processes
DEF

(Berlin conf., Abstracts 156/USA (2.7) Method of reducing gas pressure, in an enclosure in which a vacuum process is to take place, to hardvacuum level (i.e. about 10-5 torr); removes gas by reaction with a heated metal charge, normally molybdenum or titanium. (Semiconductors 1877).

Français

Domaine(s)
  • Semi-conducteurs (Électronique)
  • Techniques industrielles
OBS

(Semicond. 1877).

Espagnol

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