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ELECTRONIC LITHOGRAPHY [1 fiche]

Fiche 1 2011-08-12

Anglais

Subject field(s)
  • Lithography, Offset Printing and Collotype
DEF

Lithography in which the radiation-sensitive film or resist is placed in the vacuum chamber of a scanning beam electron microscope and exposed by an electron beam under digital computer control. After exposure, the film undergoes conventional development and other production processes.

Français

Domaine(s)
  • Lithographie, offset et phototypie
DEF

Ensemble de procédés utilisant un faisceau d'électrons qui agit sur des résines électrosensibles pour dessiner les motifs d'un circuit sur des masques ou par écriture directe.

Espagnol

Campo(s) temático(s)
  • Litografía, offset y fototipia
DEF

[…] técnica especializada para crear plantillas extremadamente finas, fundamentales para la fabricación de los modernos circuitos electrónicos.

CONT

La técnica consiste en cubrir la oblea sobre la que se quiere trabajar con una película sensible a los electrones. Mediante una fuente de electrones se "dibuja" sobre la película la plantilla que se pretende crear. La zona bombardeada con electrones sufre ciertos cambios estructurales. Posteriormente se somete el conjunto a la acción de una solución líquida que o bien disolverá la película protectora sólo en la zona expuesta a los electrones (litografía positiva) o bien la no expuesta (litografía negativa), dejando al descubierto la oblea sólo en las zonas que nos interesan para su posterior procesado.

Fiche conservée

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