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MICROLITHOGRAPHY [6 records]

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Record 1 2023-05-16

English

Subject field(s)
  • Metrology and Units of Measure
  • Atomic Physics
  • Chemistry
DEF

A size range of approximately 1 to 100 nm.

CONT

The nanoscopic scale is, roughly speaking, a lower bound to the mesoscopic scale for most solids. For technical purposes, the nanoscopic scale is the size at which the expected fluctuations of the averaged properties due to the motion and behavior of individual particles can no longer be reduced to below some desirable threshold (often a few percent), and must be rigorously established within the context of any particular problem.

OBS

nm: nanometre.

OBS

Properties that are not extrapolations from a larger size will typically, but not exclusively, be exhibited in this size range. For such properties the size limits are considered approximate.

OBS

The lower limit in this definition (approximately 1 nm) is introduced to avoid single and small groups of atoms from being designated as nano-objects or elements of nanostructures, which might be implied by the absence of a lower limit.

OBS

Features of nanometric scale : thin films, fine particles, chemical synthesis, advanced microlithography.

OBS

nanoscale: term and definition standardized by the International Organization for Standardization (ISO).

PHR

Nanoscale cellular coherence, fabrication method, pattern, patterning.

Key term(s)
  • nano-scale

French

Domaine(s)
  • Unités de mesure et métrologie
  • Physique atomique
  • Chimie
DEF

Échelle de longueur s'étendant approximativement de 1 à 100 nm.

CONT

Les particules à la nanoéchelle, faciles à fabriquer de manière sporadique, mais difficiles à assembler, devraient tirer profit d'une nouvelle technologie de «retouche collante», dont les chercheurs de l'Université du Michigan disent qu'elle permet l'assemblage automatique à la nanoéchelle.

OBS

nm : nanomètre.

OBS

Les propriétés qui ne constituent pas des extrapolations par rapport à des dimensions plus grandes sont généralement, mais pas exclusivement, présentes dans cette échelle de longueur. Pour ces propriétés, les limites dimensionnelles indiquées sont approximatives.

OBS

Cette échelle permet de mesurer des structures au niveau moléculaire.

OBS

La réduction de la dimension des systèmes jusqu'à une échelle nanométrique affecte de façon spectaculaire leurs propriétés physiques.

OBS

Dans cette définition, une limite inférieure (approximativement 1 nm) a été introduite pour éviter que des atomes individuels ou de petits groupes d’atomes soient considérés comme étant des nano-objets ou des éléments de nanostructures, ce qui aurait pu être le cas en l’absence d'une telle limite.

OBS

nano-échelle : terme normalisé par l'Organisation internationale de normalisation (ISO) dans la norme ISO/TS 27687:2008(F), mais non repris dans la norme plus récente ISO/TS 80004-4:2011(F). Dans cette dernière, il est indiqué que l'ISO/TS 27687:2008 doit faire l'objet d’une révision et devenir l'ISO/TS 80004-2.

OBS

échelle nanométrique : terme et définition normalisés par l'ISO.

PHR

Dispositif, matériau, particule, pièce à la nanoéchelle.

PHR

L'assemblage automatique devient primordial pour la nanoéchelle, le mouvement devient hautement coopératif à la nanoéchelle.

Key term(s)
  • échelle nano-métrique

Spanish

Campo(s) temático(s)
  • Metrología y unidades de medida
  • Física atómica
  • Química
DEF

Dimensión comprendida entre 1 y 100 nm [nanómetros].

Save record 1

Record 2 2012-07-05

English

Subject field(s)
  • Atomic Physics
DEF

The science of designing, producing, and using structures and devices having one or more dimensions of about 100 millionth of a millimetre (100 nanometres) or less.

OBS

Any technology related to features of nanometric scale : thin films, fine particles, chemical synthesis, advanced microlithography, and so forth.

OBS

The term "molecular technology" as opposed to "bulk technology" is sometimes used for "nanotechnology."

OBS

Nanotechnology comprises the emerging application of nanoscience.

Key term(s)
  • nano technology
  • nano-technology

French

Domaine(s)
  • Physique atomique
DEF

Science qui consiste à concevoir, produire et exploiter des structures et des appareils ayant une ou plusieurs dimensions d’environ 100 millionièmes de millimètre (100 nanomètres) ou moins.

CONT

Les nanotechnologies regroupent l'ensemble des savoir-faire qui permettent de travailler à l'échelle moléculaire pour organiser la matière afin de réaliser ces objets et matériaux, éventuellement jusqu'à l'échelle macroscopique.

OBS

Aux États-Unis, le mot «nanotechnologie» est pris au sens strict du terme, c'est-à-dire qu'il désigne la fabrication d'objets à l'échelle du nanomètre dans les trois dimensions. Au Japon, la même acception prévaut, avec un intérêt plus marqué pour les retombées technologiques en électronique et en médecine. [...] En Europe, les nanotechnologies correspondent à un champ plus vaste d'activités, comprenant aussi bien la microscopie à champ proche que la lithographie submicronique ou l'épitaxie par jet moléculaire, et parfois même les microactionneurs en silicium [...]

Key term(s)
  • nano technologies
  • nano technologie
  • nano-technologie
  • nano-technologies
  • nanotechnologies

Spanish

Campo(s) temático(s)
  • Física atómica
DEF

[Ciencia que se encarga] del estudio, diseño, creación, síntesis, manipulación y aplicación de materiales, aparatos y sistemas funcionales a través del control de la materia a nano escala, y la explotación de fenómenos y propiedades de la materia a nano escala.

CONT

La palabra nanotecnología es usada extensivamente para definir las ciencias y técnicas que se aplican a un nivel de nanoescala, esto es unas medidas extremadamente pequeñas "nanos" que permiten trabajar y manipular las estructuras moleculares y sus átomos. En síntesis nos llevaría a la posibilidad de fabricar materiales y máquinas a partir del reordenamiento de átomos y moléculas.

Save record 2

Record 3 2010-12-20

English

Subject field(s)
  • Printed Circuits and Microelectronics
CONT

Polishing and planarization are related in that polishing improves the flatness(planarity), smoothness and optical properties of a surface. Planarization, however, is a much more critical process. Integrated circuit(IC) manufacturers must planarize each surface layer of an in-process wafer to make it level for the next application of microlithography. Chemical mechanical planarization(CMP) is used during the semiconductor manufacturing process to planarize individual layers in complex integrated circuits to customer-specific parameters.

Key term(s)
  • chemical-mechanical planarization
  • chemical mechanical planarisation
  • chemical-mechanical planarisation

French

Domaine(s)
  • Circuits imprimés et micro-électronique
CONT

La société [Novellus Systems Inc.] est spécialisée dans les équipements avancés pour la déposition, le traitement de surface et la planarisation chimico-mécanique conçus pour les besoins de la fabrication de masse de semi-conducteurs au moindre coût.

Key term(s)
  • planarisation chimicomécanique
  • planarisation chimico mécanique
  • aplanissement chimicomécanique
  • aplanissement chimico mécanique

Spanish

Save record 3

Record 4 1999-09-03

English

Subject field(s)
  • Printed Circuits and Microelectronics
  • Lasers and Masers
CONT

The silicon is cut into fingers(or microclaws) by microlithography.(This is also the process by which a chip's components are created; it uses a mixture of light and chemicals to etch away parts of the silicon's surface).

French

Domaine(s)
  • Circuits imprimés et micro-électronique
  • Masers et lasers
DEF

Méthode de projection par contact, employée en électronique intégrée pour reproduire des circuits, à partir de masques, par radiation d'une résine photosensible.

CONT

En effet, il est connu que, lors de la fabrication d'un circuit électronique par microlithographie, le nombre des défauts varie exponentiellement avec la surface.

Spanish

Save record 4

Record 5 1999-09-03

English

Subject field(s)
  • Printed Circuits and Microelectronics
DEF

The number of electronic and mechanical connections obtained on the surface of a chip by microlithography.

Key term(s)
  • high connection density
  • low connection density

French

Domaine(s)
  • Circuits imprimés et micro-électronique
CONT

Haute densité, basse densité des connexions.

Spanish

Save record 5

Record 6 1992-08-18

English

Subject field(s)
  • Printed Circuits and Microelectronics
  • Industrial Techniques and Processes
  • Lithography, Offset Printing and Collotype
CONT

Serving as the substrate on which photomasks intended for applications in microlithography are made, photomask blanks are a critical component in the process of integrated circuit fabrication. They are available in various sizes and thicknesses as glass only, glass with coating(chrome, iron oxide, silicon, etc.) and glass with coating and photoresist.

French

Domaine(s)
  • Circuits imprimés et micro-électronique
  • Techniques industrielles
  • Lithographie, offset et phototypie
CONT

Sur cette plaquette, on disposera un masque en verre obtenu sur une plaque photographique par deux réductions (...)

Spanish

Save record 6

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