TERMIUM Plus®

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PLANAR ION-IMPLANTATION TECHNIQUE [1 record]

Record 1 2010-12-07

English

Subject field(s)
  • Semiconductors (Electronics)
  • Radiological Physics (Theory and Application)
DEF

A low-energy ion accelerator process used to build a planar device such as a detector.

Key term(s)
  • planar ion implantation technique
  • planar ion-implantation process
  • planar ion-implantation

French

Domaine(s)
  • Semi-conducteurs (Électronique)
  • Physique radiologique et applications
CONT

Détecteurs réalisés selon la technique d’implantation ionique «planaire». La technologie de fabrication des détecteurs silicium a beaucoup évolué au cours du dernier demi-siècle grâce aux progrès de la microélectronique. Aujourd’hui, on utilise le procédé d’implantation passivée planaire […] qui a complètement supplanté les techniques de fabrication des détecteurs à barrière de surface ou à jonction diffusée. La technique actuelle basée sur l’utilisation d’implanteurs (accélérateurs d’ions de faible énergie), permet de réaliser des jonctions abruptes et minces grâce à un contrôle très précis de la position en profondeur des dopants (B pour type P et As pour type N) à l’intérieur d’un substrat de Si (réduction de la zone morte du dispositif) de haute résistivité (de type N–). Celui-ci est recouvert d’une couche mince de passivation (SiO2) afin de minimiser les courants de fuite de surface. Un traitement chimique par photolithographie permet de définir la géométrie finale du détecteur.

Spanish

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